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跨越25年的历史，，，，，，，，开启全球性企业新未来
用途： Etch 、Implant、HDP-CVD、SACVD、MOCVD、LPCVD、ALD
特點：
iPH系列螺杆真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能，，，，，，，，適用于嚴苛制程
它優良的性能源自於最短的轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計
漢鐘獨特型線設計，，，，，，，，上海、臺灣製造
較之前的版本節能25%，，，，，，，，设置有省電模式
帶有加熱系統阻止制程物沉積
優化的尺寸，，，，，，，，隨插即用
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